高端光学系统的研制需要高精度检测技术，高精度的检测技术支撑着光学系统的确定性制造和集成，以及光学系统仿真技术。目前行业公认的准则就是没有检测就没有控制，更没有确定性加工。
目前行业内的面型检测干涉仪产品，主要是Nikon，Zeiss，和Zygo三个品牌。
干涉仪的工作原理都是利用准直光线照射标准参考面（平面，球面，非球面）和被测面（平面，球面，非球面）利用两束反射光的干涉成像进行检测。
本文以Zygo的激光干涉仪为例说明面型检测报告中的核心干货。
启动干涉仪的 MetroPro软件，设置好测试程序（如显示剖面线，3D模型，PSD，泽尼克系数等）后就可以启动检测，检测报告页面包含的信息有以下几个方面：
01 PV数据
PV值代表被检测表面上的最高点和最低点之间的高度差。RMS为检测区域内N个数据点的平方和除以N以后的开方值，称为均方根。此元件被测面的PV值为62.32nm，rms值为8.295nm。
02 3D模型
MetroPro软件可以利用被测面的采样数据点转坐标，生成3D模型，直观的表现出面型的凹凸特性。红色为高点，蓝色为低点。
03 PVr数据
由于干涉仪中使用的探测器的空间分辨率不同，噪声、鬼像条纹和亮点都会对它产生影响，仅用相机上的两个点（峰谷）来表达测量结果可能不是很精确。PVr是一个新提出的稳健振幅参数，它的计算方法是36阶Zernike拟合的PV值+ 3倍残差的均方根值。此元件按照PVr参数计算的数值为45.98+3*2.97=54.9nm。
04 XY轴剖面曲线图
在第一部分的PV数据图中，被检测面的X和Y坐标轴的剖面数值曲线显示在此图中，绿色线表示X轴，蓝色线表示Y轴。
05 干涉条纹图
这个干涉条纹就是被测面和基准面的干涉条纹图像，理想的干涉条纹应该是等间距且平行，条纹的偏转情况代表着被测面与基准面的凹凸关系。
4001澳门老百汇www网址光电销售的光学元件在入库前，都会使用干涉仪检查元件工作面是否符合面型规格要求。普通光学元件工作面面型精度不低于λ/4，高精度产品的工作面面型精度不低于λ/10，如遇到相关问题，欢迎咨询！